多重零点光ビームを用いる反射表面の形状計測のための予備理論

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-077

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Preliminary theory for surface profile measurement using multi-zeros light beam

著者名: 知久馬成美 (東京大学),栗原 徹 (東京大学),安藤 繁 (東京大学)

キーワード: 3次元形状計測|LGビーム|零点配置

要約(日本語): 本稿は，Laguerre-Gaussian(LG)ビームを用いる3次元形状計測法のための予備理論を与える．LGビームは断面上に0個以上の零点あるいは零線を持つ特殊なビームで，これを反射表面で反射させると反射の前後でビームの零点（零線）配置が変化し，しかもこの時の変化の仕方は表面形状に依存する．この事実は，反射の前後における零点（零線）配置の違いを調べることにより反射表面の形状を推定出来ることを示唆している．本稿では，表面反射に伴うLGビームの零点の変化と表面形状との間の関係を理論的に解析する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,271 Kバイト