μTAS搭載用偏光分析CMOSイメージセンサの機能向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-110

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Development of polarization-analyzing CMOS image sensor for μTAS

著者名: 松岡 均(奈良先端科学技術大学院大学),藤岡 侑司(奈良先端科学技術大学院大学),野田 俊彦(奈良先端科学技術大学院大学),笹川 清隆(奈良先端科学技術大学院大学),徳田 崇(奈良先端科学技術大学院大学),寺尾 公維(奈良先端科学技術大学院大学),西山 靖浩(奈良先端科学技術大学院大学),垣内 喜代三(奈良先端科学技術大学院大学),太田 淳(奈良先端科学技術大学院大学)

著者名(英語): Hitoshi Matsuoka(Nara Institute of Science and Technology),Yuji Fujioka(Nara Institute of Science and Technology),Toshihiko Noda(Nara Institute of Science and Technology),Kiyotaka Sasagawa(Nara Institute of Science and Technology),Takashi Tokuda(Nara Institute of Science and Technology),Kimitada Terao(Nara Institute of Science and Technology),Yasuhiro Nishiyama(Nara Institute of Science and Technology),Kiyomi Kakiuchi(Nara Institute of Science and Technology),Jun Ohta(Nara Institute of Science and Technology)

キーワード: 偏光計測|不斉計測|CMOSイメージセンサ|マイクロTAS

要約(日本語): 我々はマイクロTAS(Micro total analysis system)と呼ばれる微小化学反応系へのCMOSマイクロセンサの導入を提案している。これまでに、標準CMOSプロセスの金属配線をワイヤグリッド偏光子として利用することで、偏光と旋光度の計測が可能であることを示してきた。今回、1チップに0°から179°を網羅するオンチップ偏光子アレイを9組相当分搭載 することによって、偏光計測精度の向上を試みた。開発したインライン不斉計測システムでスクロースの不斉評価を行った結果、前回の計測精度±0.02°を上回る±0.008°を得ることができ、偏光分析CMOSイメージセンサの機能向上に成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,460 Kバイト