形状記憶ポリマーを用いたダイヤフラム型アクチュエータの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Development of Diaphragm Actuator that used Shape Memory Polymer

著者名: 櫻井 航生(日本大学),小島 健三(日本大学),田邊 慶典(日本大学),今井 郷充(日本大学)

著者名(英語): Kosei Sakurai(Nihon University),Kenzo Kozima(Nihon University),Yoshinori Tanabe(Nihon University),Satomitsu Imai(Nihon University)

キーワード: 形状記憶ポリマー|MEMS|アクチュエータ

要約(日本語): 形状記憶ポリマー(SMP)は高分子材料の一種であり，ガラス転移温度(Tg)を境に温度変化で形状固定・形状回復ができる．形状回復は一方向性であるため温度変化のみによって繰り返し変形させるにはTgの異なるSMP（Tg1,Tg2）が必要となる．本研究ではSMPを薄膜とし，ダイヤフラム型アクチュエータを製作した．製作はSi基板の上にSMP膜を成膜した後，Si側からICPエッチングを行っている．SMP膜一層で膜厚40[μm]，膜直径7[mm]で製作しTg以上で4％の歪みを与え冷却した後，再度Tg以上に加熱すると膜中心の発生力は最大16[mN]得られた．またTg1,Tg2のダイヤフラムをSMP面で張り合わせたデバイスを製作し，温度をTg1とTg2で交互に変化させることにより，約5[mN]の力を繰り返し得られた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,463 Kバイト