ひずみセンサ一体型ブリッジ構造水素ガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-133

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Piezoresistive Hydrogen Gas Sensor Based on Pd-coated MEMS Silicon Bridge

著者名: 小林 直樹(山形大学),奥山 澄雄(山形大学),原田 知親(山形大学),松下 浩一(山形大学)

著者名(英語): Naoki Kobayashi(Yamagata University),Sumio Okuyama(Yamagata University),Tomochika Harada(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University)

キーワード: 水素ガスセンサ|ひずみセンサ

要約(日本語): 本報告では、Siマイクロマシニングによりブリッジ構造を形成し、ブリッジの裏側に成膜したPdの水素吸蔵による膨張をブリッジ上部のピエゾ抵抗歪センサで検出可能な水素ガスセンサの作製、および水素0.1~10Torr雰囲気中での水素応答について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,750 Kバイト