マイクロカンチレバーの機械特性におけるプラズマ照射損傷の影響(2)

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-135

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): The effect of plasma irradiation damage on the mechanical characteristics of micro cantilever（２）

著者名: 戸村 幕樹(東北大学),高山 晶喜(東北大学),黄 啓賢(東北大学),小野 崇人(東北大学),寒川 誠二(東北大学)

著者名(英語): Maju Tomura(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Akiyoshi Takayama(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Chi-Hsien Huang(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Takahito Ono(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Seiji Samukawa(Institute of Fluid Science,Tohoku University)

キーワード: MEMS|カンチレバー|プラズマ|中性粒子ビーム

要約(日本語): 従来より、LSIにおけるプラズマ照射損傷が重要な問題になってきており、荷電粒子や紫外線の照射がデバイス特性の劣化を引き起こしてきた。最近、MEMSにおいても微細化が進行し、プラズマプロセス中の荷電粒子や紫外線照射による欠陥生成が機械的特性に影響を及ぼすことが分かってきた。今回、プラズマ照射によるカンチレバー最表面の機械強度の劣化がカンチレバーの機械特性に大きく影響を与えることを確認した。この結果により、MEMSにおいても低損傷プロセスが極めて重要であることを示した。この成果により、新たなマイクロファブリケーションプロセスの実現に寄与する事が期待される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,128 Kバイト