マイクロカンチレバーの機械特性におけるプラズマ照射損傷の影響(3)

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-136

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): The Effect of Plasma Irradiation Damage on the Mechanical Characteristics of Micro Cantilever（３）

著者名: 高山 晶喜(東北大学),戸村 幕樹(東北大学),黄 啓賢(東北大学),小野 崇人(東北大学),寒川 誠二(東北大学)

著者名(英語): Akiyoshi Takayama(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Maju Tomura(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Chi-Hsien Huang(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Takahito Ono(Institute of Fluid Science,Tohoku University),Seiji Samukawa(Institute of Fluid Science,Tohoku University)

キーワード: MEMS|カンチレバー|プラズマ|中性粒子ビーム

要約(日本語): プラズマプロセスにおけるMEMSデバイスの機械的特性の劣化は、プラズマ中の紫外線や荷電粒子により生じる加工表面の欠陥であることが分かっている。従来、劣化の原因となる欠陥に対しては水素アニールが有効な手段であると知られているが、近年のデバイスの微細化に伴い、機械的特性の劣化の影響が顕著となり、劣化を最小に抑えることが課題であると考えられてきた。本報告では、プラズマ誘起欠陥によるカンチレバーの機械的特性の劣化に対する熱処理温度や水素パシベーションの効果を解明し、機械特性の加工損傷に対しては熱処理よりも低欠陥プロセスが有効であることを明らかにした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,126 Kバイト