分割型補助電極を有する静電式共振子の静電チューニング特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-138

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Evaluation of Electrostatic Tuning Characteristics of an Electrostatic Resonator with Split Auxiliary Electrodes

著者名: 飯高 俊哉(千葉工業大学),水口 和彦(エドワーズ),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Shunya Iitaka(Chiba Institute of Technology),Kazuhiko Mizuguchi(Edwars Japan Limited),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 静電式共振子|静電チューニング|SOI-MEMS|補助電極

要約(日本語): 近年表面マイクロマシーニング技術による共振型センサや共振子などが研究されているが、これらは共振を用いることで他のパラメータへの依存性を低減し、共振周波数変化を検出することで大きな分解能が得られる。共振周波数は製造誤差等によりずれが生じることがあり、製造後に共振周波数をチューニングするための技術が不可欠である。本研究では分割型補助電極を有する静電共振子の設計・試作を行い、静電チューニング特性の評価を行った。検討を行った静電共振子の基本構造は、慣性質量を両側から2本ずつ梁で支持する両持ち梁構造でSOI-MEMSプロセスで試作し、2つの補助電極の片側印加の場合、両側印加の場合の評価結果を比較検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 683 Kバイト