微小領域への塗布成膜で表面接触角が成膜特性に及ぼす効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): The effects of the contact angle on the polymer deposition on the micro-region framed by trenches

著者名: 村上 直 (産業技術総合研究所),池原 毅 (産業技術総合研究所),昆野舜夫 (産業技術総合研究所),前田龍太郎 (産業技術総合研究所),布川正史 (信州大学),木村 睦 (信州大学),三原孝士 (オリンパス)

キーワード: 微細構造|表面接触角|塗布|薄膜|溝|微小振動子

要約(日本語): 微小振動子を共振型質量センサに用いる場合には、その表面への、対象物質に応じた検出層の作製が必要となる。この際、溶液の塗布による検出薄膜の形成では、デバイスの完成後に複数種の材料を振動子表面に成膜することが可能である。しかし、従来からの成膜表面の濡れ性制御のみによる高い精度・再現性での塗布範囲の限定では、成膜前の表面層のパターニング操作が煩雑である。そこで我々は、成膜範囲を限定する枠溝をデバイス作製時に同時作製する手法との組み合わせを検討している。今回は、ポリブタジエンの成膜実験の結果より、成膜表面の接触角が枠溝に囲まれた微小領域への成膜特性に及ぼす効果について、既報の理論的考察との比較・考察を行う。

原稿種別: 日本語

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