リファレンス振動子により安定化したQCM匂いセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-155

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Development of the Stabilized QCM Odor Sensor with a Reference Resonator

著者名: 陳 睿思(早稲田大学),大井川 寛(早稲田大学),水谷 直貴(北九州市立大学),李 丞祐(北九州市立大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Ruisi Chen(Waseda University),Hiroshi Oigawa(Waseda University),Naoki Mizutani(University of Kitakyushu),Seungwoo Lee(University of Kitakyushu),Toshitsugu Ueda(Waseda University)

キーワード: センサ|QCM|水晶振動子|リファレンス

要約(日本語): アンモニア濃度を測定できるQCMセンサと、そのリファレンス振動子を開発した。QCMセンサには、感度の向上のため独自に開発した基本周波数約70 MHzの水晶振動子を使用した。振動子の高周波数化により、温度や圧力などの外乱の影響も大きくなり、更に吸着膜を水晶振動子に形成すると、外乱に対する特性も変化する。そのため、単純な水晶振動子では、リファレンスとしての高い性能を発揮することができなかった。そこで、QCMセンサの吸着膜に近い構造の膜を付加した新しいリファレンス振動子を導入した。その結果、1 ppm以下の低濃度のアンモニアに対して、感度を持つことが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,449 Kバイト