広帯域水素ガスセンサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-165

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Investigation of Wide Range Hydrogen Gas Sensor

著者名: 高嶋 徳明(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Noriaki Takashima(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 水素センサ|水素吸蔵|MEMS|熱電対|熱伝導率|ゼロ位法

要約(日本語): 水素ガス利用の普及により安全確保のための水素ガスセンサが求められている。本研究では、パラジウムの水素吸蔵時の発熱反応を利用した４％以下の低濃度水素の測定と、気体の熱伝導率の変化を利用した４％以上の高濃度水素の測定を合わせて広帯域の水素ガスセンサを提案する。MEMS技術を用いて小型の水素ガスセンサを製作して、１個の水素ガスセンサで0.1％-100％まで計測できる高帯域化を実現した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 733 Kバイト