FeGa/PZT積層型磁気センサの特性検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Evaluation of FeGa/PZT Stacked-Layer Magnetic Sensor

著者名: 浜島 美央(千葉工業大学),斉藤 千尋(並木精密宝石),中村 元一(並木精密宝石),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Mio Hamashima(Chiba Institute of Technology),Chihiro Saito(NAMIKI PRECISION JEWEL CO.,LTD.),Motoichi Nakamura(NAMIKI PRECISION JEWEL CO.,LTD.),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 磁気センサ|磁歪材|圧電材|積層

要約(日本語): 近年磁気センサは非接触センサとして開閉スイッチから回転センサ、変位センサまで多くの産業で様々な用途に用いられている。現在用いられている磁気センサの主流はホール素子やMR素子であるが、高感度磁気センサとしてはGMRや磁気インピーダンス（MI）効果素子などが開発されており、さらに磁歪材と圧電材を積層した素子もより高感度・広ダイナミックレンジの磁気センサを狙って種々の検討がなされている。本論文では磁歪材料として比較的ヒステリシスが少なく機械的強度が高いFeGaを用いた磁歪材／圧電材積層型磁気センサについて３層構成と２層構成のセンサの評価及びシミュレーションによる共振モード解析を行い、その結果を比較検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 768 Kバイト