カンチレバー型触覚センサのNiCrゲージ薄膜抵抗温度係数のエラストマ埋め込みによる影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-168

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Influence of Embedding in Elastomer of TCR of NiCr-Gauge-Thin-Film of Tactile Sensor

著者名: 守口 裕介(大阪大学),平嶋 大樹(大阪大学),寒川 雅之(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Yusuke Moriguchi(Osaka University),Daiki Hirashima(Osaka University),Masayuki Sohgawa(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Haruo Noma(Advanced Telecommunications Research Institute International)

キーワード: 触覚センサ|熱膨張率|抵抗温度係数|エラストマ|カンチレバー

要約(日本語): 本研究では、傾斜角を持つマイクロカンチレバーを用いた圧力と剪断力を同時に検知可能な3軸力触覚センサに関して、カンチレバー部の反り量と抵抗温度係数(TCR)の関係とカンチレバーのリリースによるTCRの変化やカンチレバー保護用のエラストマに埋め込むことによるTCRの変化について検討した。結果、カンチレバーの反り量とTCRはほぼ比例の関係となった。また、カンチレバーをリリースした時、応力層のCYTOPと活性層Siの熱膨張率の違いによりカンチレバー部が変形しTCRが大きく増加した。しかし、エラストマ内にカンチレバーを埋め込むことでカンチレバーの変形を抑えTCRの増加を抑制できることが分かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,124 Kバイト