圧電型MEMS超音波センサの構造的応力制御による感度の改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-170

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Sensitivity Improvement of MEMS Piezoelectric Ultrasonic Sensors through Structural Stress Control

著者名: 田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波|センサ|圧電

要約(日本語): 小型ロボットの障害物検知センサとして電子走査に用いる超音波アレイセンサの需要が高まっている。MEMS超音波センサには静電容量型と圧電型があるが、圧電型は単層構造のため製造が容易で使用環境が広い特徴がある。しかし開発中の圧電型超音波センサは受信感度が小さい等の課題があるため、センサ構造を改良して受信特性の改善を行った。センサの上部電極の大きさを変えて設計したところ、薄膜部の20%の大きさの電極の場合は、受信感度が最大になることが解った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 958 Kバイト