センサ応用のためのP(VDF/TrFE)薄膜の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-172

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): The Evaluation of the P(VDF/TrFE) Thin Film for Sensor Applications

著者名: 塩野 祥平(兵庫県立大学),蒋 永剛(科学技術振興機構),濱田 浩幸(科学技術振興機構),樋口 行平(科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Syohei Shiono(University of Hyogo),Yonggang Jiang(Japan Science and Technology Agency),Hiroyuki Hamada(Japan Science and Technology Agency),Kohei Higuchi(Japan Science and Technology Agency),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: PVDF|P(VDF/TrFE)|エッチング|圧電

要約(日本語): 近年、少子高齢化や生活習慣病の増加に伴い、健康に対する関心が高まっている。本研究室では、MEMS 技術を用いたセンサを開発し、集積化することで様々なデータをモニタリングし、常時健康状態を把握できるシステムの構築を目指している。本研究では、心拍測定などへの応用が期待される圧電材料として、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)を用いた各種センサ応用を検討し、MEMS プロセスとの融合を目指し、P(VDF/TrFE)を用いたプロセスの確立を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 812 Kバイト