脈拍モニタリングシステムの３次元集積化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): 3D Integration of a Pulse Monitoring System

著者名: 石井 雅敏(兵庫県立大学),笠井 一夫(科学技術振興機構),樋口 行平(科学技術振興機構),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Masatoshi Ishii(University of Hyogo),Kazuo Kasai(Japan Science and Technology Agency),Kohei Higuchi(Japan Science and Technology Agency),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 脈拍モニタリング|３次元集積|光電脈波|フォトダイオード

要約(日本語): 近年，健康管理や予防医療において，各種センサを用いた携帯型の生体情報モニタリングシステムが注目を浴びている。本研究室でも個別部品を用いた脈拍モニタリングシステムのプロトタイプ(35x35 mm2)を作製しているが，多数の個別部品を基板上に配置する必要があり，小型化に限界があった。このようなセンサ一体型システムの小型化には，チップ(ウエハ)レベルでの集積化技術が重要となる。本研究では，Hybrid WaferやTSVなどの集積化技術を応用した3次元構造の脈拍モニタリングシステムの実現を目指し，脈波センサとなるLED埋め込みフォトダイオードの試作と初期評価を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 728 Kバイト