インチワーム型５自由度アクチュエータの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-166

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): The Proposal of an Inchworm Actuator with Five Degrees of Freedom

著者名: 山田智弘 (愛知工業大学),鳥井昭宏 (愛知工業大学),植田明照 (愛知工業大学)

キーワード: アクチュエータ|圧電素子|精密位置決め|インチワーム|多自由度

要約(日本語): 筆者らの研究室では、小型加工装置のステージとして利用可能な自走式スチュワートプラットフォーム機構を提案した。インチワームの原理による平面内の無限移動、パラレルメカニズムの原理による６自由度微動が可能であったが、移動平面に対する傾き変位が数十マイクロラジアンに限られた。加工用ステージとして用いるためには、傾き変位を大きくする必要がある。本稿では、この機構を拡張し、多自由度ステージとして利用可能なインチワーム型５自由度アクチュエータを提案する。構造と動作原理を述べた上で、実験結果の一例を示す。１周期当たりの変位量が６ミクロンと実験的に求められた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,154 Kバイト