熱処理によるZnOアレスタ素子のバリア高さ、ドナー密度の変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 6-244

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

タイトル(英語): Charge in Barrier Height and Donor Density of ZnO Arrester Element by Heat Treatment

著者名: 三宅 純一郎(日本AEパワーシステムズ),津田 孝一(日本AEパワーシステムズ),岩井田 武(日本AEパワーシステムズ)

著者名(英語): Junichiro Miyake(Japan AE Power Systems Corporation),Koichi Tsuda(Japan AE Power Systems Corporation),Takeshi Iwaida(Japan AE Power Systems Corporation)

キーワード: ZnOアレスタ素子|C-V測定|バリア高さ|ドナー密度|熱処理

要約(日本語): ZnOアレスタ素子は熱処理条件により電圧-電流非直線係数αが大きく変化することが知られている。この現象について、新たに開発したV1mA=10kVまで測定可能なC-V測定装置により、徐冷した大型素子と急冷した小型素子を測定することにより、バリア高さとドナー密度への熱処理温度の影響を実験し、熱処理によるαの変化がバリア高さとドナー密度が変化することが直接の原因である知見を得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 552 Kバイト