圧電MEMSマイクロフォンデバイスの電気等価回路解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S21-3

グループ名: 【全国大会】平成23年電気学会全国大会論文集

発行日: 2011/03/05

著者名: 増西 桂 (東芝),佐野賢也 (東芝),尾原亮一 (東芝),蛭間貴博 (東芝),冨澤 泰 (東芝)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,926 Kバイト