高E/n放電を用いたPTFE表面処理に及ぼす最大イオンエネルギーの影響とその検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-058

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル：高E/n放電を用いたPTFE表面処理に及ぼす最大イオンエネルギーの影響とその検討

タイトル(英語): Discussion and Influence of Maximum Ion Energy at PTFE Surface treated by High E/n Electric Discharge

著者名: 平沼 史弥(東京都市大学),李 強順(東京都市大学),岩尾 徹(東京都市大学),湯本 雅恵(東京都市大学)

著者名(英語): Fumiya Hiranuma(Tokyo City University),Qiangshun Li(Tokyo City University),Toru Iwao(Tokyo City University),Motoshige Yumoto(Tokyo City University)

キーワード: 高E/n放電|PTFE|表面処理|最大イオンエネルギー

要約(日本語): 高分子材料であるPTFE（Poly-Tetra-Fluoro-Ethylene）は低誘電率，化学的に安定など優れた特性があり，多くの分野で有要な材料として注目されている。しかし，PTFEは他材料との接着力が弱い欠点を持っている。接着力向上法として，窒素中での高E/n (E：電界，n：粒子密度)放電処理法に着目した。この放電処理は，通常のグロー放電より高域のエネルギー分布を持ち，接着力向上が確認されている。そこで，最大イオンエネルギーに着目し，処理したPTFEの表面エネルギー，XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)の表面分析結果と比較し検討することを目的とする。その結果，気圧が低い条件で表面エネルギーがより向上した。分析結果より金属Fe, Crが影響していると考えられ，1.3keV程度イオンが電極をスパッタし付着したと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 818 Kバイト