CF4/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電におけるCF4分解の効率化の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-063

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): CF4 decomposition efficiency using atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4/noble gas mixtures.

著者名: 井出 存(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保文嘉 (首都大学東京)

著者名(英語): Tamotsu Ide(Tokyo Metropolitan University),Naoki Shirai(Tokyo Metropolitan University),Satoshi Uchida(Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 誘電体バリア放電|CF4分解|大気圧グロー放電|発光分光|FTIR|パックドベッド

要約(日本語): CF4をはじめとするパーフルオロカーボン類（PFCs）は，半導体産業において広く利用されている。PFCsは温室効果ガスであるため，除害装置の設置などの排出削減技術が実践されている。除害装置の設置は，プロセスへの影響が少なく，短時間で新規ライン導入が可能であるなどの利点がある。除害装置には種類があるが，装置の小型化が容易なプラズマ分解は除害装置の普及に利するものと期待される。プラズマ分解には数多くの種類があり，それぞれの手法に対して研究が為されている。本報告では， 3種のリアクタ構成によるガス組成の変化を発光分光，ガスクロマトグラフ，FTIR等で測定し，CF4分解の効率化を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,665 Kバイト