回折モアレ光を用いた精密位置決め装置の計測領域拡大

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-129

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Measurement range expansion of precision alignment device using diffraction moire

著者名: 栗原 利徹(愛知工業大学),内田 敬久(愛知工業大学)

著者名(英語): Toshiyuki Kurihara(Aichi Institute of Technology),Yoshihisa Uchida(Aichi Institute of Technology)

キーワード: レーザ|モアレ|位置決め|計測領域

要約(日本語): 近年のナノテクノロジーの発展は，半導体作製技術の発達とともにある．この基盤技術となっているのが回路パターンの微細化であり，この微細化には精密位置決めセンサが必要不可欠である．本研究では現在までに回折光を用いた精密位置決めセンサを提案してきた．ナノレベルの位置決めを達成したが，位置決め範囲が限定されていた．そこで本論文では，位置決め範囲を拡大した精密位置決めセンサを提案している．シミュレーションによる結果は実験値とよく一致していることがわかった．また，シミュレーションと実験の結果の評価により実験パラメータの最適条件を検討し，ミリオーダーの領域からの位置決めが可能であることが確認された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,444 Kバイト