レーザ走査リソグラフィと電解エッチングによるマイクロコイルの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-147

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Fabrication of Micro-Coils Using Laser Scan Lithography and Electrolytic Etching

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),石井 秀敏(東京電機大学),山本 大地(東京電機大学),湯澤 孝夫(東京電機大学)

著者名(英語): Toshoyuki Horiuchi(Tokyo Denki University),Hidetoshi Ishii(Tokyo Denki University),Daichi Yamamoto(Tokyo Denki University),Takao Yuzawa(Tokyo Denki University)

キーワード: 光リソグラフィ|マイクロコイル|レーザ走査露光|電解エッチング

要約(日本語): 外径100μmの銅管およびステンレス鋼管(SUS304材)にポジ型レジストPMER P-LA900PMを塗布し、波長473nmの固体青色レーザを用いたレーザ走査リソグラフィにより螺線パターンを形成した。螺線パターンは、線幅30μmの目標に対し、平均線幅29.6μm、ばらつき3σ=1.5μmでほぼ均一に形成できた。そののち、食塩+塩化アンモニウムの水溶液を電解液として電解エッチングを行い、マイクロコイルを製作した。銅管、ステンレス管のいずれについても良好にコイル化できる条件を見出すことができ、レーザ走査リソグラフィと電解エッチングの組み合わせによるマイクロコイル製作に見通しを得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 763 Kバイト