パルスパワー方式マイクロプラズマの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-168

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Generation of micro plasma jet by pulsed power

著者名: 猪口 誠(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Makoto Inokuchi(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)

キーワード: マイクロプラズマ|パルスパワー|分光

要約(日本語): プラズマ技術の産業応用は，材料デバイスプロセス応用，機械工学応用，医療応用といった幅広い分野の基盤技術として，益々その重要性を増している．その利点は、狭域へのプラズマを照射する能力であり、大気圧空気マイクロプラズマジェットの生成には真空装置を必要とせず、空気ガスを使用し、低コストを実現できるため，各種の応用に向けた基礎開発研究が精力的に進められている．本研究では，容量性マイクロプラズマジェットにおいて，DCおよびパルスパワー方式によるマイクロプラズマジェットを生成し，その分光測定データを提示する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 615 Kバイト