磁気スイッチによるオゾナイザの放電安定性の向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-178

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Increased stability of the ozonizer using magnetic switch

著者名: 田中 文章(熊本大学),岩石琢身 (熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)

著者名(英語): Fumiaki Tanaka(Graduate School of Science and Technology Kumamoto University),Takumi Iwaishi(Graduate School of Science and Technology Kumamoto University),Takashi Sakagawa(Graduate School of Science and Technology Kumamoto University),hidenori Akiyama(Graduate School of Science and Technology Kumamoto University)

キーワード: パルスパワー|オゾン|アーク放電|安定性

要約(日本語): オゾンは、強い酸化力から上下水道処理や殺菌・消毒、脱色・漂白、近年では半導体のレジストの除去やウエハーの洗浄など様々な分野で利用されている。これらで利用されるオゾナイザは据え置きのプラント型で非常に大きな設備である。 一方で近年、排気ガスの処理へのオゾンを利用が広がりつつある。オゾンは安全に貯蔵する事が難しい為、一般的に利用する場合は排気ガスの発生する場所で発生させる必要がある。排気ガスを発生するものは自動車や船舶などで振動や発熱など厳しい利用環境である事が多い。このような環境ではオゾナイザのオゾン生成量を維持したまま、放電安定性を向上させる事が必要となる。 そのため、本研究では、負荷に並列に磁気スイッチを接続する事により、放電安定性の向上を目指している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,795 Kバイト