NLDプラズマの解析（XX）－イオン輸送における空間電荷電界の効果－

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-184

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Analysis of NLD Plasma (XX) - Effect of Space Charge Field on Ion Transport -

著者名: 吉田 拓平(北海道大学),櫻井 洋平(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学)

著者名(英語): Takuhei Yoshida(Hokkaido University),Yohei Sakurai(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Akihiro Murayama(Hokkaido University)

キーワード: NLDプラズマ|磁界|エッチング|イオン|空間電荷電界|モデリング

要約(日本語): 磁気中性線放電（NLD）プラズマは3重直流コイルの磁界を重畳して作る磁気中性ループに沿って生成される低圧高密度誘導結合型プラズマである．磁界によりプロセス中のプラズマ空間分布制御が可能との特長を利用した大面積均一処理が提案されている．本報では構築中のモデルに空間電荷電界を導入し，エッチャントイオン輸送への影響を解析した結果を述べる．空間電荷電界を考慮しない解析では，分界線の足付近に現れることが過去の解析で示唆されているイオン入射量ピークが，イオンと媒質ガスとの衝突に伴う拡散で目立たなくなった．空間電荷電界導入によりそのイオン加速が衝突拡散に比べ支配的になり，分界線の足付近にピークが再現された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 327 Kバイト