大きな変調を伴うタンデム型変調誘導熱プラズマの温度変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-185

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Temperature Variation in Tandem Type of Induction Thermal Plasma with Large Modulation

著者名: 赤尾 美香(金沢大学),倉石 克弥(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Mika Akao(Kanazawa University),Katsuya Kuraishi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

キーワード: 誘導熱プラズマ|タンデム型|AM変調

要約(日本語): RF電源2つ用いて，各々の電源に接続されている誘導コイルを縦に二段並べたタンデム型変調誘導熱プラズマ(Tandem-MITP)システムにより，熱プラズマを時空間的に変調制御した。それぞれのコイル電流の駆動周波数を変え，異なる波形の変調を加えることで，熱プラズマが上・下段コイル間を交互に移動するような制御を行った。このような制御をすることで，熱プラズマを空間的にコントロールし，熱プラズマ下流部における温度をより大きく変調できるかを検討した。2 線強度比法を用いてAr 励起温度を算出し，プラズマトーチの各位置でのAr 励起温度の時間変化を評価するとともに，高速ビデオカメラにより熱プラズマの発光様相の変動を観測した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 6,731 Kバイト