ネオントランスとSIDACを用いた60Hz Arプラズマジェット生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-192

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Generation of 60 Hz Ar plasma jet using neon transfer and SIDAC

著者名: 住石 裕次郎(金沢大学),野阪幸平 (金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Yujiro Sumiishi(Kanazawa University),Kohei Nosaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマジェット|SIDAC|低周波|60Hz

要約(日本語): プラズマジェットは大気圧非平衡プラズマの一種である。大きな特徴として，プラズマジェットは電子温度が数万Kと高温なのに対し，ガス温度は常温程度であるためターゲットに対して熱負荷をかけずに，化学的に活性なラジカルによるプラズマプロセスを行うことが可能である。近年，大気圧非平衡プラズマの医療・生物分野や燃料改質，プラズマCVD，ナノチューブ合成など様々な領域への応用が急速に進んでいる。効率良くプラズマを生成するための要素として，電源の高周波化，急峻な電圧変化，プラズマ領域の縮小化などが挙げられる。今回，筆者らはネオントランスを用いて，60Hzの低周波Arプラズマジェットが生成可能であるか検討したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 702 Kバイト