大気圧並列MCS 放電プラズマ源用のバラスト抵抗作成方法の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-193

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): The design of the ballast resistance creation method for atmospheric pressure parallel MCS electric discharge plasma sources

著者名: 浅野 太一(埼玉大学),今 陽(埼玉大学),竹中 允一(埼玉大学),前山 光明(埼玉大学)

著者名(英語): Taichi Asano(Saitama University),Akira Kon(Saitama University),Masakazu Takenaka(Saitama University),Mitsuaki Maeyama(Saitama University)

キーワード: 大気圧プラズマ

要約(日本語): 本研究では放電装置の電極部に着目し，装置の小型化と大容積化を目的としてMHCD電極の外部抵抗として導電性材料を用いた装置を作成した。MHCD電極の外部抵抗として厚さ2 mm，抵抗率2×103 Ω・m，材質が天然ゴムの導電性材料を用いた。 従来は導電性材料を第三電極のZ方向に対してφ方向に螺旋状に配置していたが，配線用の銅パターンを変更することにより，第三電極に対してφ方向への垂直配置を可能にした。これにより導電性材料の設置が容易になり，導電性材料と配線用銅パターンとの接触により均一性を持たせることができる。 実験条件は，大気圧，MHCDのパルス幅3 μs，周波数1 kHz ，Isingle= 12.5 mAとした。新パターンにおいても従来と同様の放電波形を得られ，MHCDの発光を確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト