PT型エキシマランプの放射照度測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-196

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Measurement of Absolute Lrradiance for PT-Based Excimer Lamp

著者名: 高橋 祥一朗(千葉工業大学),根本 幹也(千葉工業大学),寺西 研二(徳島大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤晴雄 (千葉工業大学)

著者名(英語): syouichirou Takahashi(Chiba Institute of Technoligy),Mikiya Nemoto(Chiba Institute of Technoligy),Kenji Tranishi(The University of Tokushima),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technoligy),Hruo Itoh(Chiba Institute of Technoligy)

キーワード: 圧電トランス|バリア放電|エキシマ|放射照度

要約(日本語): 圧電トランス（PT：Piezoelectric Transformer）を用いて，高電圧電源と誘電体電極を兼ね備えたコンパクトな誘電体バリア放電型プラズマリアクタを開発し, エキシマランプとして動作させる実験的検討を行ってきた。その中で真空紫外領域の発光スペクトル観測や, フィラメント状放電の自己組織化現象の観測と，その生成条件について報告してきたが, 本報告では放電状態の観測と，発光効率を求めるために紫外線積算光量計を用いて, He/Xe混合ガス中でバリア放電を発生させ放射照度を測定した。放射照度はガス圧力に対して比例する結果が得られ,放射照度は放電ギャップ長d = 0.6 ~ 0.8 mmにおいて最大値を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 671 Kバイト