イメージング分光法による大気圧DCパルス放電プラズマジェットのOHラジカル計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-201

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Observation of OH Radicals on Imaging Spectroscopy Measurement in Atmospheric-Pressure DC Pulse Discharge Plasma Jet

著者名: 湯地 敏史(宮崎大学),清田 佑一(宮崎大学),車 孝軒(首都大学東京),赤塚 洋(東京工業大学),田代 真一(大阪大学),田中 学(大阪大学)

著者名(英語): Toshifumi Yuji(University of Miyazaki),Yuichi Kiyota(University of Miyazaki),Che Xiao Xuan (Tokyo Metropolitan University),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology),Shinichi Tashiro(Osaka University),Manabu Tanaka(Osaka University)

キーワード: 大気圧プラズマ|イメージング分光法|Arガス|ラジカル計測|DCパルス

要約(日本語): 現在，大気圧非平衡プラズマは，産業や医療などへの利用が検討されているが，非平衡状態のため，プラズマ中の現象や基礎特性が明確になっていない現状である。そのため，プラズマ中の現象及び基礎特性を低コストで容易に計測できる手法及び技術の確立が求められている。本報告では，高周波DCパルス電源を用いた大気圧非平衡DCプラズマジェット中のラジカルの生成状態を簡易な分光的手法で，分光器から高速ビデオカメラを介してO原子ラジカルの生成状態を明確にすることができた。これにより，ラジカル生成状態の明確化の糸口が見つかること及び材料表面処理プロセスへの応用と，プラズマ中のラジカル生成状態を容易に計測できる1つの要因が見つけだすことが可能となる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 231 Kバイト