酸素表面波プラズマによるポリイミドの表面改質

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-214

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Surface modification of polyimide using oxygen surface wave plasma

著者名: 蛭川 能成(東京都市大学),鈴木 脩一(東京都市大学),菅谷 洋平(東京都市大学),小野 茂(東京都市大学)

著者名(英語): Yoshinari Hirukawa(Tokyo City University),Syuiti Suzuki(Tokyo City University),Youhei Sugaya(Tokyo City University),Shigeru Ono(Tokyo City University)

キーワード: 表面波プラズマ|ポリイミド|電子温度|電子密度|酸素ラジカル密度

要約(日本語): 本研究では、プラズマ診断により酸素表面波プラズマ中の酸素ラジカル密度及びプラズマパラメータを測定した。また酸素表面波プラズマによるポリイミドの表面改質を行い付与された親水性の度合いを水接触角測定によって評価した。プラズマ診断の結果、誘電体からの距離が離れるにしたがって急激に電子温度・電子密度が低くなることがわかった。また電子エネルギー分布より、酸素ラジカルが生成される領域が誘電体近傍であることがわかった。ラジカル生成領域は誘電体近傍であるが、酸素ラジカル密度測定では誘電体近傍より離れた領域でも高いラジカル密度を示し、親水化もラジカル生成領域から離れた領域で良好になされた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,800 Kバイト