1GHzまでの誘電特性測定における精度向上のための手法検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-007

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Examination of a Higher Accuracy Method for Measuring Dielectric Properties of Materials to 1 GHz

著者名: 時田 幸一(東京都立産業技術研究センター),重松 宏志(東京都立産業技術研究センター),小林 丈士(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Kouichi Tokita(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Hiroshi Shigematsu(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Takeshi Kobayashi(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: 誘電率|誘電正接

要約(日本語): 近年1GHzまでの周波数では、インピーダンスマテリアルアナライザ等の機器を用いて、材料の誘電特性評価が行われている。しかし低周波数（1MHzから100MHz）では測定精度が低下したり、誘電正接が小さい（10^(-3)台以下）試料の測定が困難であるという問題もある。本研究では（1）信号電圧調整及びアベレージ機能の使用、（2）スパッタリングによる電極形成、（3）高誘電率試料によるロード補正、といった手法の検討を行い、どの程度測定精度に改善が見られるかを実験的に検証した。その結果手法を組み合わせることで、誘電率・誘電正接共に1MHzから100MHzでの測定精度が向上し、誘電正接が10^(-3)台の試料も相対誤差5％以内での測定が期待できるようになった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 786 Kバイト