PEA法の試料/下部電極界面における接着物質が試料の音響インピーダンス計測に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-031

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Influence of adhesive material at film / lower electrode on acoustic impedance measurement in PEA method

著者名: 布野 竜二(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),栗本 宗明(豊橋技術科学大学),福間 眞澄(松江工業高等専門学校),長尾 雅行(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ryuji Funo(Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami(Toyohashi University of Technology),Muneaki Kurimoto(Toyohashi University of Technology),Masumi Fukuma(Matsue College of Technology),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 空間電荷|音響インピーダンス|界面接着剤|パルス静電応力法

要約(日本語): 空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力（PEA）法は電気電子機器の絶縁材料等の性能・信頼性評価に広く利用されている。通常、PEA法では試料と電極間で密着性を高めるために界面接着剤としてシリコーンオイルが使用されているが、それが音響的に最適かどうかは調査されていない。本研究ではシリコーンオイル等の界面接着材がPEA法における音響特性に与える影響を調査するため、音響インピーダンス測定機能を組み込んだ空間電荷測定装置を用いて、数種類の界面接着剤を用いた場合について試料の音響インピーダンスを測定したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,040 Kバイト