集束イオンビーム化学気相成長法によるテラヘルツ波検出アンテナの作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-099

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Production of the Terahertz antenna by Focused Ion Beam - Chemical Vapor Deposition

著者名: 田村 拓(日本大学),胡桃 聡(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Taku Tamura(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 集束イオンビーム|テラヘルツ波

要約(日本語): 集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam：FIB）はナノスケールまでGa^＋イオンビームを絞り、ビームを照射させて試料を観察しながらエッチングやイオン注入、原料ガスを吸着させて堆積物を生成させるデポジションができる。よって微細で立体的なダイポールアンテナの製作が可能となる。生体の分子振動が約2μm?14μm程度なのでテラヘルツ波の発生源とする自由電子レーザ(Free Electron Laser : FEL)や、CO₂レーザを検出できるアンテナの形成を試みる。本研究ではFIB-CVDを用いたダイポールアンテナの形成について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 731 Kバイト