Si中Au集合体の精密SIMS測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-100

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Accurate Measurement of Au Agglomerates in Si by SIMS

著者名: 高橋 祐樹(福岡工業大学),橋本 篤(福岡工業大学),師岡 正美(福岡工業大学)

著者名(英語): Takahashi Yuki(Fukuoka Institute of Technology),Hashimoto Atsushi(Fukuoka Institute of Technology),Morooka Masami(Fukuoka Institute of Technology)

キーワード: 2次イオン質量分析|金集合体

要約(日本語): Si中の過飽和Auの回復過程でAu集合体が発生することは既に報告した。SIMSによるSi中の不純物濃度分布測定では、正確な不純物濃度を測定するために、原子濃度が知られているSi原子と不純物原子を交互に測定するサイクルを繰り返し、不純物原子が測定される領域は、深さ方向の数十％程度となる。Si中のAu集合体のSIMS測定に当たって、このことを改善するために、Si原子測定後約10?mにわたって連続的にAu原子を測定するサイクルを繰り返すことによって、表面からの金濃度分布を測定した。この改良測定サイクルによって100000個程度以下の金原子を含む小さい集合体も精密に測定できるようになったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 569 Kバイト