フェムト秒レーザを使用した有機薄膜加工評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-119

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Evaluation of Organic Thim Film Processing by using Femto Second Pluse Laser

著者名: 倉田 達也(愛知工業大学),冨田 祐司(愛知工業大学),高柳 寛(愛知工業大学),水嶋 大輔(愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学),落合 鎮康(愛知工業大学)

著者名(英語): Tatsuya Kurata(Aichi Institute of Technology),Yuzi Tomita(Aichi Institute of Technology),Hiroshi Takayanagi(Aichi Institute of Technology),daisuke Mizushima(Aichi Institute of Technology),Norio Tsuda(Aichi Institute of Technology),Jun Yamada(Aichi Institute of Technology),Shizuyasu Ochiai(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 有機薄膜

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト