異なる磁性コート探針によるコプレーナウェイブガイド上の近傍磁界強度の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-131

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Evaluation of Magnetic Near Field on a Coplanar Waveguide Using MFM Tips Coated with Different Magnetic Materials

著者名: 遠藤 恭(東北大学),福嶋 正昭(東北大学),荒井 薫(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Yasushi Endo(Tohoku University),Masaaki Fukushima(Tohoku University),Kaoru Arai(Tohoku University),Yutaka Shimada(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University)

キーワード: 磁気力顕微鏡|近傍磁界測定|MFM探針|コプレーナウェイブガイド|CoCrPt|Ni-Fe

要約(日本語): 2種類の異なる磁性コート探針によるMFMを用いて，配線を模擬したコプレーナウェイブガイド(Coplanar Waveguide:CPW)上の近傍磁界の評価を行ったので報告する．磁界源としてCPWを用い，CPW上で交流磁界を発生させることにより，磁性コート探針とCPWの間に相互作用が働き，探針が共振周波数で振動する．このときの振動振幅を測定する．測定に用いた磁性コート探針は，硬質磁性材料であるCoCrPtがコートされたSiカンチレバー（市販，SI-MF3-LM）と，軟質磁性材料であるNi-FeをDCマグネトロンスパッタ法により製膜したものである．実験結果より，CoCrPtコート探針ではNi-Feの場合に比べて，CPW上で発生させた十分に強い近傍磁界の垂直成分を検出することが可能であることを見出した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 977 Kバイト