差動測定法による櫛歯電極型共振器の変位測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Displacement measurement of comb-drive resonator with differential measurement

著者名: 八尾 惇(京都大学),引原 隆士(京都大学)

著者名(英語): Atsushi Yao(Kyoto University),Takashi Hikihara(Kyoto University)

キーワード: 変位測定|共振器|マイクロマシン|差動測定|セルフセンシング

要約(日本語): マイクロマシンの一つである共振器において, 様々な変位の測定方法が存在する. 測定の際, アクチュエータがセンサを兼ねることが可能であれば, センサの設置スペースが不要であり, システム全体の小型化がはかれる. また, センサコストの削減が可能である. さらに, センサを設置することにより, 共振器の振動に影響が出る可能性があるが, セルフセンシングであればこの問題は解消される. このような観点から, 本報告では, 差動測定法を用いることにより, 櫛歯電極型共振器の振動に影響を与えずに, 変位を測定できることを確認した. また, 増幅回路は必要であるが, センサを設置することなく, 変位の測定が可能であることを示した.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 813 Kバイト