MEMS技術を用いた微細大気圧プラズマアレイデバイスの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Fabrication of Atmospheric-Pressure Micro Plasma Array Device with MEMS Technology

著者名: 山崎秀貴 (香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Hidetaka Yamasaki(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Takao(Kagawa University)

キーワード: 大気圧プラズマ|マイクロ放電|MEMS

要約(日本語): 近年，様々な分野での利用を目指した大気圧プラズマ発生機構が数多く研究されている。マイクロデバイス分野においても，マイクロ流路内からプラズマジェットを生成するデバイスの研究も行われている。本研究では，大気圧プラズマを独立した微小流路内部で生成し，それをアレイ化して独立制御を行うことにより，高い空間解像力とプラズマパターン制御の自在性を実現できる，微細大気圧プラズマアレイデバイスを製作したので報告する。本デバイスは金属薄膜を電極、PDMSを流路として使用している。電極には微細なギャップを設けてあり、電極に電圧を印加させることによりギャップ間で放電を起こし、ここにガスを流すことでプラズマを発生させる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,680 Kバイト