MEMS技術を用いた気液反応用マイクロリアクタの設計・製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-126

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Design and Fabrication of Microreactor Using MEMS Technology for Gas-Liquid Reaction

著者名: 石川 和樹(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Kazuki Ishikawa(Toyohashi University of Technology),Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Makoto Ishida(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: マイクロリアクタ|マイクロバブル|気液反応

要約(日本語): 本研究では、シリコンLSI・MEMSプロセスを用いて、液中への微小気泡の生成を行うマイクロリアクタの設計・製作を行った。提案するマイクロリアクタチップは、微小気泡を生成するノズル部と、反応に必要な時間、気泡を滞留させる反応部で形成される。このノズル部は、液体のせん断力を利用して微小な気泡を生成する構造となっている。製作したチップを用いて測定を行った。気体は圧縮空気を60 kPaで、液体は純水を100 μl/minで導入した。その結果、直径50 μmの気泡が生成されていることを確認することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,102 Kバイト