マイクロヒーターとマイクロミキサを集積化した化学反応促進チップの設計・製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Design and Fabrication of a Chemical Microreactor Integrated with a Microheater and Micromixers

著者名: 大橋亮太 (豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),加藤 亮(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): RYOTA OHASHI(Toyohashi University of Technology),KAZUHIRO TAKAHASHI(Toyohashi University of Technology),RYOU KATOU(Toyohashi University of Technology),MAKOTO ISHIDA(Toyohashi University of Technology),KAZUAKI SAWADA(Toyohashi University of Technology)

キーワード: MEMS|マイクロリアクタ|Deep RIE

要約(日本語): 本研究では、チタンマイクロヒーター内蔵マイクロリアクタの設計・製作と、それを用いた化学反応の収率評価の結果を示す。 提案するマイクロリアクタのレイヤ構成は、ガラス、シリコン、ガラス層の3層構造となっている。上部ガラス層には注入口を形成し、シリコン層にはサブチャネルに分割・積層を繰り返すマイクロミキサを形成し、下部ガラス基板上にはマイクロヒーターをそれぞれ作製した。 化学反応を評価するために、無水酢酸とアニリンからアセトアニリドを生成する化学反応モデルを用いた。この結果からマイクロリアクタ1．5倍程度の収率が得られており、少量の液体に対する伝熱効率がビーカーより高く、化学反応が促進されたと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,044 Kバイト