MEMSミラーを用いた小型3次元センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-130

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Development of Compact 3-D Sensor with MEMS mirror

著者名: 野口 琢也(三菱電機),橋本 充夫(三菱電機),白附晶英 (三菱電機),鹿井 正博(三菱電機),奥田 晴久(三菱電機),仲嶋 一(三菱電機)

著者名(英語): Takuya Noguchi(Mitsubishi Electric Corporation),Mitsuo Hashimoto(Mitsubishi Electric Corporation),Akihide Shiratsuki(Mitsubishi Electric Corporation),Masahiro Shikai(Mitsubishi Electric Corporation),Haruhisa Okuda(Mitsubishi Electric Corporation),Hajime Nakajima(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: MEMS|セル生産|3次元センサ

要約(日本語): 柔軟性の高いセル生産方式の実現に向けて，コンパクトなロボットにも搭載可能な小型3次元センサを開発した．従来ヘッドサイズの大型化の要因であったスキャンミラーにMEMSミラーを採用し，さらにフィードバック制御系でミラーの安定性を確保することで精度を維持したまま3次元センサの小型化が可能となり，産業用ロボットへの適用に有効であることを確認した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 867 Kバイト