角度センシング機能を有する回転型静電MEMSミラーの設計と製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Design and Fabrication of Rotational Type Electro-Static Micro Mirror with Angle Sensing Ability

著者名: 篠崎 亮輔(香川大学),大平 文和(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Ryosuke Shinozaki(Kagawa University),Fumikazu Oohira(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Takao(Kagawa University)

キーワード: 静電アクチュエータ|マイクロミラー|ロータリエンコーダ|MOB

要約(日本語): 近年，MEMS技術を用いた微小光学部品が開発され，光学装置の小型化に寄与している．代表的な微小光学部品としてMOB (Micro Optical Bench)，MEMSミラーがある．MOBはSi基板上に設けられた溝にファイバー，ミラー等を設置することで光学調整の簡略化を実現するが，ミラーを可動させる光軸調整は困難である．MEMSミラーを用いて偏向駆動を可能とすれば，電気的な光軸調整も可能となるが，従来のMEMSミラーは基板面上（すなわち水平型）のミラーを駆動させている．本研究では，MOBへの集積化を可能とする垂直型（面外方向）のミラーを駆動させる方式をとることで，同一基板上にデバイスとファイバー設置部，回転方向，角度検出センサの一括形成可能な回転型静電MEMSミラーの設計と製作を行ったので報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,955 Kバイト