非対称マイクロミラーを用いた2次元光スキャナ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-132

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): 2 dimensional optical scanner using asymmetric micro mirror

著者名: 野口 雅史(近畿大学),栗山 敏秀(近畿大学),高辻 渉(和歌山県工業技術センター),前田 裕司(和歌山県工業技術センター),伊藤隆喜 (和歌山県工業技術センター),中家 利幸(阪和電子工業),松井 信近(阪和電子工業),奥村 浩行(阪和電子工業)

著者名(英語): Masashi Noguchi(Kinki University),Toshihide Kuriyama(Kinki University),Wataru Takatsuji(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Yuji Maeda(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Takayoshi Ito(Industrial Technology Center of Wakayama Prefecture),Toshiyuki Nakaie(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd),Nobuchika Matsui(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd),Hiroyuki Okumura(Hanwa Electronic Ind. Co.,Ltd)

キーワード: 非対称マイクロミラー|光スキャナ

要約(日本語): 2次元光スキャナは様々な応用がある。本実験では、非対称マイクロミラーを用いて、1方向の振動で2次元スキャナを駆動することができるのを確かめた。ミラーはx軸回りに、そのミラーを支える枠部分がz軸回りに回転運動を行う。ミラーと枠部分の2つの共振周波数を駆動信号に重畳させ、y軸方向に振動させると、2次元スキャンを実現することができる。これを確かめるために試作機を作製した。駆動させた試作機にレーザ光を当てると、反射された光で、ラスタースキャンによる画像表示が確かめられた。次に、シミュレーションソフトを使用して、解析を行った。この結果をもとに、超小型のスキャナを作製する予定である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 590 Kバイト