光制御Spindt型カーボンナノチューブ電界放出素子アレイ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-134

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Optical Switchable Spindt-type Carbon Nanotube Field Emitter Array

著者名: 田中 雄次郎(東北大学),宮下 英俊(東北大学),小野 嵩人(東北大学)

著者名(英語): Yujiro Tanaka(Graduate School of Engineering,Tohoku University),Hidetoshi Miyashita(Graduate School of Engineering,Tohoku University),Takahito Ono(Graduate School of Engineering,Tohoku University)

キーワード: マルチ電子線リソグラフィー|マイクロファブリケーション|並列電子源|光スイッチング

要約(日本語): 並列電子線描画装置に用いる目的で、pn接合構造をもつSiの突起にカーボンナノチューブ(CNT)を成長させたSpindt型の電子源アレイを作製し、その動作を確認した。この電子源は、レーザーの照射により電子線のスイッチングを行うことができる。電子源アレイは、pn接合を組み込んだSiの突起をSiの薄膜構造上に作り、その上にCNTを成長させてエミッタとした。また、Wのゲート電極が作り込まれている。エミッタとゲート電極間に印加した電圧によりpn接合を逆バイアス状態にし、電子源アレイの背面にレーザー（波長660nm）を照射した。その結果、電子源から放出された電流がレーザーのON/OFFに同期していることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,632 Kバイト