電子ビーム蒸着法によるセラミックス薄膜の作製と感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Humidity Sensing Characteristics of Ceramics Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation Method

著者名: 佐々木 拓実(関東学院大学),大津 稔(関東学院大学),島田 和宏(関東学院大学),加藤 ひとし(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学)

著者名(英語): Takumi Sasaki(Kanto Gakuin University),Minoru Otsu(Kanto Gakuin University),Kazuhiro Shimada(Kanto Gakuin University),Hitoshi Kato(Kanto Gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto Gakuin University)

キーワード: セラミックス|湿度センサ|薄膜|感湿特性

要約(日本語): 電子ビーム蒸着法によってセラミックスである酸化ジルコニウムを薄膜化し、作製した薄膜に電極処理を施し湿度変化に対するインピーダンス変化を測定した。そして急激な湿度変化に対応するべく、感湿応答性も同じく測定した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 634 Kバイト