空隙のある多層薄膜を用いた水素センサの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Study on Hydrogen Sensors using Multiple Layered Thin films with Interspaces

著者名: 澤出 憲(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Ken Sawaide(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: 水素センサ|多層薄膜|半導体薄膜|金属酸化物|酸化タングステン

要約(日本語): 半導体薄膜ガスセンサは多種のガスに高感度で検知可能な一方，ガス選択性に乏しい故に触媒を用いたセンサの提案がされてきた。しかし触媒に用いられるレアメタルは供給が不安定になりがちなことや価格の高騰が度々問題となる。そのため本研究ではレアメタルを使用せずに、金属酸化物を用いた半導体薄膜ガスセンサの水素ガス感度向上を可能とするセンサ作製方法の提案を目的として、nmオーダの空隙を持たせたセンサの研究を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,138 Kバイト