微細ガラスファイバ入りフォトレジストを用いた3次元薄膜構造体の試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-159

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Prototype 3D Film-Structure Using Photoresist Mixed with Micro Glass Fibers

著者名: 吉田 雅昭(八戸工業高等専門学校),齋藤 直哉(八戸工業高等専門学校),松本 克才(八戸工業高等専門学校),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Masaaki Yoshida(Hachinohe National College of Tech.),Naoya Saitoh(Hachinohe National College of Tech.),Katsutoshi Matsumoto(Hachinohe National College of Tech.),Mitsuteru Kimura(Res. Inst. Eng. & Tech.,Tohoku Gakuin Univ.)

キーワード: ガラスファイバ|フォトレジスト|薄膜|エッチング|MEMS

要約(日本語): 従来、フォトレジストは高精度かつ画一的なパターン形成が可能で無機薄膜に見られるクラックも発生し難い利点がありながら、薄膜としては強度不足が問題で微細加工用のマスク材料として発展してきた。よって、3次元薄膜構造体形成のためにはフォトレジストの特長と透明であることを利用し、フォトレジストと同程度の屈折率を持つ材料を添加して薄膜の強度向上を図る必要があった。本研究では、熱形薄膜温度センサの感度を向上させるための基本原理に基づく基板から熱分離され宙に浮いた薄膜（マイクロエアブリッジ構造）に微細ガラスファイバ入りフォトレジストを用い、この薄膜と犠牲層エッチングとを組み合わせた3次元薄膜構造体を試作した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 777 Kバイト