2軸制御ベアリングレスモータの回転子重心位置に対する積分ゲイン決定法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-167

グループ名: 【全国大会】平成24年電気学会全国大会論文集

発行日: 2012/03/05

タイトル(英語): Determination Method of Integral Control Gain for Center of Gravity of Rotor in Two-Axis Actively Regulated Bearingless Motor

著者名: 杉元紘也 (東京工業大学),千葉 明(東京工業大学)

著者名(英語): Hiroya Sugimoto(Tokyo Institute of Technology),Akira Chiba(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ベアリングレスモータ|磁気軸受|安定性

要約(日本語): ベアリングレスモータは、磁気軸受と電動機を磁気的に一体化し、磁気浮上しながらトルクを発生させることができる。そのため、機械的接触による粉塵が発生しない、メンテナンスフリーという利点がある。特に2軸制御ベアリングレスモータは小型・低コストであるため、半導体製造用プロセスチャンバステージへの応用が期待されている。一方、2軸制御の問題点として、回転子重心に対する磁気支持力作用点とセンシング位置の関係が安定性に影響を与えることを明らかになっている。既に著者はPIDコントローラの積分ゲインを適切に設定することで安定浮上可能であることを実験によって示した。そこで本稿では、積分ゲインの範囲を明らかにする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 244 Kバイト