圧電トランス型プラズマリアクタの表面電位分布測定 ―締め付けトルクがPT表面電位に及ぼす影響―

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-027

グループ名: 【全国大会】平成25年電気学会全国大会論文集

発行日: 2013/03/05

タイトル(英語): Measurement of Surface Potential Distribution for Piezoelectric Transformer-Based Plasma Reactor: Effect of Tightening Torque on Surface Potential of PT

著者名: 秦 由樹(徳島大学),大中顕人 (徳島大学),寺西 研二(徳島大学),下村 直行(徳島大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Yuki Hada(Tokushima University),Kento Onaka(Tokushima University),Kenji Teranisi(Tokushima University),Naoyuki Shimomura(Tokushima University),Haruo Itoh(Chiba Insitute of Technology)

キーワード: 圧電トランス|誘電体バリア放電|表面電位

要約(日本語): 圧電トランス(Piezoelectric Transformer：PT)を用いた誘電体バリア放電(Dielectric Barrier Discharge：DBD)型プラズマリアクタとは，小型の高電圧発生素子であるPTを放電電極として誘電体電極との間にDBDを生成する放電発生器である。PTは長さ方向の機械振動が共振した際に2次側に高電圧を誘起するため，PT2次側の表面電位は振動方向に対して定在波状に分布する。これに伴い発生するDBDも空間的に異なる特性を示す。従って，本プラズマリアクタの放電電力を正確に測定するためには，上述した表面電位分布を考慮した扱いが必要となる。著者らはこれまでに，PTを用いたDBD型リアクタの背後電極を振動方向に分割することによってPT表面電位分布や放電電力空間分布を測定した結果を報告した。本報告ではPTを固定する際の締めつけの強さによってどのように表面電位分布が変化するかを調査したのでその結果を述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 292 Kバイト